光刻机之前不买原因根据瓦森纳协议不会买先进的光刻机给中国的。
对准系统共有两套,具备调焦功能。主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对(光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和物镜供用户组合使用)。
CCD对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视器上。工件台顾名思义就是放工件的平台,光刻工艺最主要的工件就是掩模和基片。
对准系统:
制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺,这也是国产光刻机望尘莫及的技术难点之一,许多美国德国品牌光刻机具有特殊专利的机械工艺设计。例如Mycro NQ光刻机采用的全气动轴承设计专利技术,有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差。
对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜的视场,许多高端的光刻机,采用了LED照明。
主要是不能进口高端极紫外光euv光刻机,而中低端duv光刻机可以进口及自己生产。
最高端的光刻机现在不能进口了,主要是美国不让荷兰出口光刻机给中国。
最先造光刻机的是日本的尼康,就是很多专业摄影师用的相机机牌子,后来被美国把他们玩残了。
荷兰的光刻机本身其实是西方资本国家顶级技术的 *** ,asml只是整合世界各国的技术,表面上是荷兰人控制,其实公司是掌握在韩国 美国和台湾等股东的手里,东西只优先卖给韩国台湾美国,而且西方一直都在技术封锁中国,光刻机这种东西更不可能卖给中国了。
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